반도체 폐지 시스템 시장 규모, 점유율, 성장 및 산업 분석, 유형 (연소 세척 유형, 건조 유형, 촉매 유형, 습식 유형, 플라즈마 습식 유형, 기타), 응용 분야 (IDM, Foundry), 지역 통찰력 및 2033 년 예측.

반도체 감소 시스템 시장 규모

글로벌 반도체 폐지 시스템 시장 규모는 2024 년에 20 억 달러로 평가되었으며 2025 년에 1,130 억 달러에 달할 것으로 예상되며, 결국 2033 년까지 256 억 달러로 확장되어 예측 기간 동안 10.8%의 CAGR을 나타 냈습니다 [2025-2033].

미국 반도체 저감 시스템 시장은 2024 년 전세계 점유율의 약 31.4%를 차지했으며, 고급 칩 제조 및 환경 준수 측정의 상당한 증가로 인해 발생했습니다. 미국 시장은 엄격한 규제 프레임 워크와 반도체 제조 인프라에 대한 투자 증가로 지속적으로 혜택을 받고 있습니다.

주요 결과

• 시장 규모: 2025 년 1.13 B에 평가되며, 2033 년까지 2.56 B에 도달 할 것으로 예상되며 CAGR 10.8%로 증가합니다.
• 성장 동인: 방출 의무에 의해 구동되는 35% 증가; 팹 용량 팽창으로 인한 ~ 30%
• 트렌드: 아시아 태평양이 보유한 45%의 점유율; 모듈 식 저감 시스템 채택의 ~ 20% 성장
• 주요 플레이어: Ebara, Busch Vacuum Solutions, GST, Edwards Vacuum, CS Clean Solutions
• 지역 통찰력: 아시아 태평양은 ~ 50%점유율을 차지하고 북미는 ~ 34%, 유럽은 ~ 20%, 중동 및 아프리카는 ~ 5%로 이어집니다. 아시아 태평양은 대만, 중국, 한국 및 일본의 집중된 팹 활동 및 주요 장비 설치로 인해 지배적입니다.
• 도전: ~ 작은 팹의 40%가 시스템 복잡성 및 자본 요구 사항으로 인한 채택 난이도에 직면
• 산업 영향: ~ 도구 조달 결정의 55% 배출 규제 준수에 의해 영향을받는
• 최근 개발: ~ 새로운 팹의 25%가 2023 년에서 2024 년 사이에 에너지 효율적인 감소 시스템을 채택했습니다.

반도체 폐지 시스템 시장은 반도체 제조 공정 동안 생성 된 위험한 배출을 완화하는 데 중요합니다. 이 시스템은 질소 트리 플루오 라이드, 퍼플 루오로 카본, 염화 수소 및 암모니아와 같은 독성 가스를 제거합니다. 2024 년 현재 시장은 전 세계적으로 반도체 팹 설치가 증가함에 따라 꾸준한 성장을 보여주었습니다. 통합 장치 제조업체 (IDM) 및 파운드리는 생산 공정에 따라 다양한 유형의 감소 기술이 필요합니다. 여기에는 연소-세척, 습식, 건조, 촉매 및 플라즈마 웨트 시스템이 포함됩니다. 고급 리소그래피와 에칭 단계가 클린 룸 인프라 내에서 정밀도 감소 시스템을 요구하는 복잡한 배출량을 생성함에 따라 시장은 공정 단계에 의해 점점 더 세분화되고 있습니다.

반도체 감소 시스템 시장 동향

반도체 저감 시스템 시장은 환경 규제, 기술 발전 및 글로벌 팹 확장에 의해 주도되는 중요한 추세를 목격하고 있습니다. 2024 년에 연소 세척 시스템은 시장 점유율의 약 33%를 차지했으며, 습식 세정기가 거의 25%를 차지했습니다. 파운드리와 IDM은 전통적인 습식 세정기에서 플라즈마-웨트 및 촉매 시스템으로 빠르게 업그레이드되어 더 높은 저감 효율과 소형 발자국을 제공합니다. Ebara 및 Edwards와 같은 제조업체는 2024 년에 퍼플 루어 화 된 화합물에 대해 99.9% 이상의 제거 효율을 달성 할 수있는 모듈 식 저감 장치를 도입했습니다. 건식 폐지 시스템에 대한 수요는 특정 지역의 물 배출에 대한 제한으로 인해 증가했습니다.

실시간 모니터링 및 자동화 된 성능 조정과 통합 된 스마트 저감 시스템은 특히 미국, 대만 및 한국의 주요 팹 중에서 더욱 대중화되었습니다. 아시아 태평양은 전 세계 판매의 60% 이상을 대표하는 수요에 가장 큰 기여를했습니다. 미국 시장은 The Chips Act에서 지원하는 제조 공장 투자로 인해 상당한 견인력을 보여 주었으며 전 세계 설치의 30% 이상을 기여했습니다. 배출 기준이 전 세계에서 계속 강화됨에 따라 이러한 추세는 향후 몇 년 동안 반도체 저감 시스템 시장을 더욱 형성 할 것으로 예상됩니다.

반도체 감소 시스템 시장 역학

반도체 저감 시스템 시장은 규제 압력, 기술 개발의 상호 작용 및 반도체 생산 능력 증가에 의해 형성됩니다. 환경 규정은 제조 라인의 각 단계에서 가스 저감 솔루션을 구현하기 위해 팹 운영자입니다. AI 및 Automotive와 같은 응용 분야에서 고성능 칩에 대한 수요가 증가함에 따라 고급 프로세스 노드의 사용이 증가하여 더 위험한 부산물을 방출합니다. 이는 고효율 저감 시스템의 필요성을 향상시킵니다. 기업은 또한 에너지 소비를 줄이고 자동화를 개선하며 폐수 배출을 최소화하여 녹색 제조 목표와 일치하는 지속 가능한 시스템을 탐색하고 있습니다.

기회

에너지 효율적, 유지 보수가 적고 IoT 지원 저감 솔루션에 대한 관심이 높아지면 글로벌 팹 확장 전반에 걸쳐 성장 잠재력이 생깁니다.

반도체 폐지 시스템 시장에는 특히 모듈 식 및 에코 효율적인 시스템과 관련된 기회가 확대되고 있습니다. 소규모 플러그 앤 플레이 장치에 대한 수요는 소규모 볼륨 파일럿 팹을 운영하는 제조업체 또는 증분 용량을 추가하는 제조업체들 사이에서 증가하고 있습니다. 공급 업체는 예측 유지 보수 및 규정 준수 모니터링을 지원하기 위해 IoT 통합 및 실시간 분석을 통해 저감 시스템을 개발하고 있습니다. 지속 가능한 칩 제조에 대한 관심이 높아지면 저에너지 및 제로-액체 방전 폐지 유닛의 기회가 있습니다. 정부 보조금과 지역 칩 생산에 의해 주도 된 아시아 태평양은 계속해서 높은 성장 잠재력을 제시하고 있습니다. 촉매 및 습식 스크러빙 기술을 결합한 하이브리드 시스템에 중점을 둔 회사는 상당한 시장 점유율을 포착합니다.

드라이버

주요 반도체 지역의보다 엄격한 환경 정책은 팹을 밀어내어 배출 제어를위한 고급 저축 시스템을 채택하도록합니다.

반도체 폐지 시스템 시장의 주요 동인 중 하나는 주요 반도체 제조 지역의 환경 규제 강화입니다. 2024 년에 미국 단독만이 시장 수요의 30% 이상을 차지했으며, 주로 반도체 프로세스의 배출량을 제한하기 위해 규제 의무에 의해 주도되었습니다. IDM은 수직 통합 작업 및 광범위한 제작 라인으로 인해 총 설치의 약 58%를 구성했습니다. 미국, 일본 및 독일의 새로운 시설을 포함하여 전 세계 패브 건설의 증가는 각 생산 노드에서 가스 저감 시스템의 필요성을 가속화하고 있습니다. 이하 7nm 노드로의 전환은 또한 복잡한 가스의 배출을 증가시켜 감소 시스템을 더욱 필수적으로 만듭니다.

시장 제한

"선행 투자 및 통합 문제는 운영 예산이 엄격한 중소 규모의 반도체 팹 간의 채택을 제한합니다."

성장에도 불구하고 반도체 감소 시스템 시장은 주목할만한 구속에 직면 해 있습니다. 고급 폐지 시스템의 설치 및 유지 보수와 관련된 높은 초기 비용은 특히 중소형 제조 장치의 장벽으로 남아 있습니다. 이 시스템을 기존 제조 시설에 통합하면 공간, 가스 흐름 패턴 및 배기 시스템을 수용하기위한 설계 수정을 포함한 기술적 문제가 발생합니다. 또한 에너지 사용, 소모품 및 시스템 모니터링과 관련된 운영 비용이 추가로 채택됩니다. 몇몇 신흥 경제에서 제한된 인식과 인프라는 대규모 배치를 억제하여 기존 반도체 허브 외부에서 시장의 침투를 제한합니다.

시장 과제

"플라즈마-웨트 및 촉매 유형과 같은 고급 시스템에는 특수 엔지니어링이 필요하며, 이는 작은 팹이 효과적으로 유지하기 위해 고군분투합니다."

반도체 저감 시스템 시장은 확장 성을 제한 할 수있는 몇 가지 과제에 직면 해 있습니다. 한 가지 주요 과제는 여러 가스 유형을 동시에 처리하는 복잡성이며, 각각의 특정 감소 기술이 필요합니다. 플라즈마-웨트 및 촉매 시스템은 온도, 가스 흐름 및 에너지 입력에 대한 정확한 제어를 요구하여 운영 변화에 매우 민감하게 만듭니다. 또 다른 과제는 숙련 된 기술자가 특히 새로운 팹 위치에서 이러한 첨단 시스템을 관리, 유지 및 최적화 할 수있는 부족입니다. 또한, 위험한 부산물 및 사용 된 촉매의 처분은 특히 엄격한 폐기물 관리 프로토콜이있는 지역에서 규제 및 물류 부담을 추가합니다.

세분화 분석

반도체 저감 시스템 시장은 유형 및 응용 프로그램에 의해 분류됩니다. 유형별로 연소-세척 시스템은 다양성과 입증 된 효과로 인해 지배적입니다. 젖은 세정기는 특히 오래된 팹에서 밀접하게 따라갑니다. 혈장-웨트 및 촉매 시스템은 우수한 제거 속도와 에너지 효율에 대한 인기를 빠르게 증가시키고 있습니다. 건식 시스템은 물 사용이 제한되는 지역에서 사용됩니다. 응용 프로그램 측면에서 시장은 IDM과 Foundry로 나뉩니다. IDM은 광범위한 제조 용량으로 인해 58% 이상의 점유율 로이 부문을 이끌고 파운드리는 Fabless 회사의 칩 생산 아웃소싱 증가로 인해 가장 빠른 성장을 목격하고 있습니다.

유형별  

• 연소 세척 유형: 연소-세척 시스템은 2024 년 총 시장 점유율의 약 33%를 보유하고 있으며,이 시스템은 독성 가스를 산화시키기 위해 고온 연소를 사용하여 잔류 미립자를 제거하기 위해 습식 스크러빙을 사용합니다. 대량의 위험한 부산물을 처리 할 수있는 능력은 고용량 팹에 적합합니다. 연소-세척 장치는 종종 IDM 및 파운드리 처리 에칭 및 CVD 작업에 설치됩니다. 엄격한 환경 준수 표준을 충족하는 능력은 방출 제어가 엄격하게 규제되는 미국 및 유럽과 같은 지역에서 선호하는 옵션이되었습니다.
• 건식 유형: 반도체 폐지 시스템의 건조 감소 시스템 시장은 액체 폐기물을 생산하지 않고 유해 가스를 포착하고 중화하기 위해 고체 화학 흡착제를 활용합니다. 이 시스템은 특히 유지 보수가 적은 수액이있는 지역에서 유리합니다. 2024 년, 건식 시스템은 소형 발자국과 운영 비용이 낮아 아시아 태평양의 흡수가 증가했습니다. 이 시스템은 일반적으로 백엔드 프로세스 또는 저용량 팹에 배치됩니다. 그러나 흡착제 재료의 주기적 대체는 운영 문제에 추가됩니다. 그럼에도 불구하고, 그들의 화학적 특성은 환경 의식적인 반도체 제조 구역에서 계속 견인력을 얻고 있습니다.
• 촉매 유형: 촉매 시스템은 에너지 효율적인 작동과 낮은 온도에서 불소화 가스를 분해하는 효과로 인해 반도체 저감 시스템 시장에서 급격한 수용을 얻고 있습니다. 이 시스템은 화학 반응을 가속화하는 금속 촉매를 사용하여 750 ° C 미만으로 작동하여 높은 연소 온도의 필요성을 줄입니다. 2024 년에 촉매 저감 시스템은 고급 노드에서 작동하는 신규 세대 팹에 설치의 상당 부분을 차지했습니다. 촉매 시스템의 모듈 식 특성은 특히 혼합 도구 세트가있는 파운드리에서 도구 별 통합에 이상적입니다. 저탄소 발자국은 전 세계적으로 녹색 제조 이니셔티브와 잘 어울립니다.
• 젖은 유형: 습식 폐지 시스템은 반도체 폐지 시스템 시장에서 암모니아, 염화수소 및 황 화합물과 같은 수용성 가스를 치료하기 위해 널리 사용됩니다. 이 시스템은 유해한 성분을 중화시키는 액체 세정기를 통해 오염 된 가스 스트림을 통과합니다. 2024 년에 습식 유형 시스템은 레거시 팹과 충분한 수자원이있는 지역에 광범위하게 설치되었습니다. 특정 산 가스에 대한 높은 제거 효율은 구형 공정 라인에 대한 신뢰할 수있는 선택입니다. 제조업체는 화학 투여 및 물 재활용을 계속 혁신하여 운영 효율성을 향상시킵니다. 습식 폐지 시스템은 특히 인프라가 확립 된 국가와 성숙한 환경 정책이있는 국가에서 선호됩니다.
• 혈장 습식 유형: 플라즈마 습식 시스템은 혈장 아크 기술을 습식 문지르기를 결합하여 퍼플 루오로 카본 및 질소 트리 플루오 라이드와 같은 복잡한 화합물에 대해 매우 높은 제거 속도를 제공합니다. 반도체 폐지 시스템 시장에서, 플라즈마 습식 장치는 5nm 노드 이하로 작동하는 고급 팹의 주요 솔루션으로 떠오르고 있습니다. 이 시스템은 99.9% 이상의 저감 효율을 보장하며 가스 처리량이 높은 에칭 및 증착 도구에 사용됩니다. 2024 년에 혈장 습식 시스템에 대한 수요는 아시아 태평양 지역과 미국의 IDMS에서 크게 성장했으며 최소한의 연료와 저 배출량으로 운영하는 능력으로 인해 지속 가능성 중심 시설에서 선호되는 옵션이됩니다.
• 기타: 반도체 폐지 시스템 시장의 "기타"범주에는 하이브리드 시스템 및 특수 응용 프로그램을 위해 설계된 화염없는 촉매 변형이 포함됩니다. 이 시스템은 틈새 팹 환경 또는 고유 한 가스 저감 프로토콜이 필요한 프로세스 도구를 위해 맞춤형 엔지니어링됩니다. 하이브리드 모델은 단일 장치 내에 연소, 촉매 및 습식 처리 방법을 통합 할 수 있습니다. 이러한 유연성은 다양한 가스 프로파일을 갖춘 팹이 여러 장치를 배치하지 않고 준수를 유지할 수 있도록합니다. 2024 년에 시장의 작은 부분을 대표하지만 이러한 시스템은 확장 성, 개조 용이성 및 차세대 클린 룸 인프라와의 호환성에주의를 기울이고 있습니다.

응용 프로그램에 의해

• 통합 장치 제조업체 (IDM): 통합 장치 제조업체는 반도체 폐지 시스템 시장의 주요 소비자로서 2024 년에 전 세계 설치의 약 58%를 차지합니다. IDMS는 칩을 제조하는 대규모 제조 플랜트를 운영하며, 에칭, 이온 주입 및 증착을 포함한 다양한 도구에 걸쳐 폐지 시스템을 필요로합니다. IDM 생산의 복잡하고 지속적인 특성은 연소-세척 및 촉매 유형과 같은 고용량 시스템을 필요로합니다. 미국, 한국 및 일본의 IDMS는 배출 규정 강화를 준수하기 위해 고급 저감 기술에 상당한 투자를 해왔습니다. 높은 수율 및 제로 결절 제조에 대한 강조는 자동화 된 도구 별 감소 시스템에 대한 수요를 향상시킵니다.
• 파운드리: 파운드리는 반도체 저감 시스템 시장에서 가장 빠르게 성장하는 부문을 나타냅니다. 이 시설은 타사 고객을위한 칩을 제조하고 다양한 프로세스 요구 사항에 빠르게 적응해야합니다. 2024 년에 파운드리는 여러 도구 세트에 쉽게 통합 될 수있는 모듈 식 플라즈마 습식 및 건식 시스템의 채택을 증가시켰다. 파운드리는 확장 가능한 폐지 시스템, 특히 유연한 공정 제어가 필요한 다중 클라이언트 팹의 혜택을받습니다. 반도체 생산의 아웃소싱, 특히 대만, 중국 및 인도에서 전 세계적으로 성장함에 따라 파운드리는 고객 사양과 지역 배출법을 모두 충족시키기 위해 폐지 인프라에 투자하고 있습니다. 비용 효율적이고 유지 보수가 적은 솔루션의 필요성은 차세대 폐지 기술에 대한 수요를 불러 일으키고 있습니다.

반도체 폐지 시스템 시장에 대한 지역 전망

반도체 저감 시스템 시장은 제조 강도, 환경 규제 및 기술 배치에 의해 주도되는 강력한 지역 변화를 보여줍니다. 아시아 태평양 지역은 대만, 중국, 한국 및 일본의 빠른 제조 확장으로 인해 50% 이상의 점유율로 시장을 이끌고 있습니다. 북아메리카는 미국의 반도체 인프라 추진 및 엄격한 EPA 준수로 인해 시장의 약 34%를 차지합니다. 유럽은 독일, 프랑스 및 네덜란드와 같은 국가의 개조 및 지속 가능한 팹으로 인해 약 20-24%를 차지합니다. 중동 및 아프리카는 약 5%의 점유율을 보유하고 있으며 사우디 아라비아와 UAE는 반도체 구역에 초기 투자를 시작합니다. 각 지역은 연소-세척, 촉매 및 플라즈마-웨트 시스템의 채택이 증가하는 것을 보여줍니다.

북아메리카

북미는 2024 년 미국이 이끄는 반도체 폐지 시스템 시장의 약 34%를 차지했습니다. 미국 칩 및 과학법과 같은 반도체 독립성을 높이기위한 정부 이니셔티브는 큰 패브 건설을 지원했습니다. Fabs 규모로 인해 고성능 감소 시스템에 대한 수요도 증가합니다. 미국 기반 IDM 및 파운드리는 지역 배출 요건을 충족시키기 위해 촉매 및 플라즈마 웨트 시스템을 점점 더 배포하고 있습니다. 캐나다는 파일럿 팹과 테스트 라인 팹을 통해 약간 기여하며 멕시코는 지역 청정 제조업을 확장하고 있습니다. 북미에 설치된 대부분의 새로운 저감 시스템은 스마트 통합 및 7nm 이하의 제조 라인에 맞게 맞춤화되었습니다.

유럽

유럽은 2024 년 반도체 저감 시스템 시장의 20% ~ 24%를 차지했습니다. 독일과 네덜란드는 레거시 및 고급 팹을위한 배출 제어 시스템을 설치하는 데있어 지역 리더로 남아있었습니다. 프랑스, 이탈리아 및 영국은 또한 EU 탈탄의 명령으로 인해 입양을 가속화하고 있습니다. 유럽 ​​팹은 습식 스크러빙과 건조 및 촉매 기능을 결합한 하이브리드 저감 솔루션을 선호하고 있습니다. 오래된 제조 공장의 개조 수요는 여전히 높으며 소형 및 모듈 식 시스템의 주문을 높이고 있습니다. 유럽 ​​전역의 규제 기관은 불소화 온실 가스 저감을 완전히 준수해야하므로 IDM 및 Foundry 라인에 걸쳐 플라즈마-웨트 시스템 침투가 증가합니다.

아시아 태평양

아시아 태평양 지역은 2024 년에 50% 이상의 시장 점유율을 기록한 반도체 폐지 시스템 시장을 이끌었습니다. 중국, 대만, 일본 및 한국 본토는 조밀 한 반도체 팹 네트워크로 인해 고급 가스 폐지 솔루션에 대한 수요가 가장 높았습니다. 대만만으로도 주요 파운드리가 주도하는 전 세계 수요의 25% 이상을 차지했습니다. 중국의 국가 지원 칩 이니셔티브는 새로운 팹에 걸쳐 연소-세척 및 촉매 시스템의 배치를 가속화했습니다. 저비용 제조에 대한 일본의 초점 건조 저감 솔루션에 대한 수요 증가. 최근의 반도체 정책 이니셔티브를 통해 인도는 새로운 중간 규모의 팹에 감소 시스템을 설치하기 시작하여 지역 성장 궤적을 더욱 확대했습니다.

중동 및 아프리카

중동 및 아프리카 지역은 2024 년 반도체 폐지 시스템 시장에서 거의 5%의 점유율을 차지했습니다. 사우디 아라비아와 UAE는 내장 방출 제어 기술을 갖춘 새로운 반도체 클러스터에 대한 상당한 투자를 시작했습니다. 팹 활동은 초기 단계에 남아 있지만 UAE 및 카타르의 파일럿 라인 및 소규모 제조 시설은 규정 준수를 위해 촉매 및 건식 저감 시스템을 채택했습니다. 남아프리카 공화국은 마이크로 일렉트로닉스 및 화학 제조에서 유사한 기술을 사용하고 있습니다. 이 지역의 기여는 겸손하지만 인프라 개발 및 정책 주도의 청정 제조 프레임 워크는 감소 시스템 수요의 점진적인 증가를 지적합니다.

주요 반도체 감소 시스템 시장 회사의 목록

투자 분석 및 기회

반도체 저감 시스템 시장은 반도체 팹의 글로벌 확장과 엄격한 규제 명령으로 인해 강력한 투자 모멘텀을 경험하고 있습니다. 2024 년에, 북미에서는 약 34%의 설치가 발생했으며, 주로 정부가 지원하는 이니셔티브 하에서 구축 된 새로운 팹 내에서 발생했습니다. 아시아 태평양 지역에서는 설치의 50% 이상을 차지한 지역 자금 조달 및 정부 주도 인센티브가 모듈 식 및 저에너지 저축 기술의 배치를 크게 가속화했습니다. 유럽의 채택은 약 20-24%의 레거시 팹의 환경 업그레이드로 인해 촉진됩니다.

고급 노드 처리에 적합한 컴팩트 한 도구 별 시스템에서 투자 기회가 등장하고 있습니다. IoT 지원 예측 유지 보수 시스템을 제공하는 회사는 더 높은 고객 유지를 보장하고 있습니다. 전략적 투자는 또한 제로 액체 증전 습식 세정기와 저온 촉매 시스템을 개발하는 회사로 흐르고 있습니다. 개조 서비스를 제공하는 저감 공급 업체는 유럽과 북미에서 강력한 계약 파이프 라인을보고 있습니다. 사모 펀드 및 기관 투자자들은 점점 더 공간에 들어가고 있으며, 불소화 가스 포획, 여과 및 다단 처리를 전문으로 OEM 및 부품 제공 업체를 대상으로합니다. 2030 년대 초까지 전 세계적으로 400 개가 넘는 새로운 팹이 예상되면서 확장 가능하고 준수하는 저축 시스템에 대한 수요는 장기 자본을 계속 끌어들일 것입니다.

신제품 개발

반도체 폐지 시스템 시장의 신제품 개발은 고효율, 스마트 통합 및 친환경 기술에 중점을 두었습니다. 2024 년에 몇몇 주요 플레이어는 NF₃ 및 CF₄와 같은 유해 가스의 99.9% 이상을 제거 할 수있는 5NM 이하의 노드를 위해 설계된 시스템을 시작했습니다. 실시간 가스 감지 및 감소 된 연료 소비를 특징으로하는 플라즈마 웨트 시스템은 상업적으로 이용 가능해졌습니다. 예를 들어, Ebara는 자체 청소 기능과 최소 유지 보수 간격을 갖춘 모듈 식 시스템을 도입했습니다.

CS Clean Solutions 및 DAS Environmental Expert는 조기 결함 탐지를위한 AI 구동 진단 도구가 장착 된 저축 시스템을 시작했습니다. 고성능 수지 제형을 사용하여 건조 감소 시스템이 개선되어 작동주기를 연장하고 폐기물을 줄였습니다. 유럽에서는 폐쇄 루프 워터 순환을 위해 설계된 습식 세정기 시스템은 레거시 장치에 비해 화학 및 물 사용에 대해 최대 40% 절약되었습니다. 신제품 라인은 이제 유연한 팹 레이아웃과 호환성을 제공하므로 파일럿 및 대량 생산 팹 모두에 이상적입니다. 이 시스템은 미국, 대만, 독일 및 한국의 산업 4.0 환경과의 통합에 점점 더 선호되고 있습니다.

최근 개발

• Ebara는 2024 년 초에 5NM 이하 팹을위한 고효율 플라즈마-웨트 시스템을 발사하여 강화 된 방출 중화를 시작했습니다.
• Busch 진공 솔루션은 2024 년 3 월에 통합 연료 최적화로 새로운 촉매 저감 장치를 공개했습니다.
• Edwards Vacuum은 2023 년 4 분기에 15% 낮은 전력 소비를 가진 모듈 식 감소 시스템을 출시했습니다.
• CSK (Atlas Copco)는 2023 년 6 월에 고 플루오 라이드 배출량을 처리하기 위해 이중 단계의 화염없는 촉매 산화제를 도입했습니다.
• DAS Environmental Expert는 2024 년 후반에 40 개 이상의 팹에서 IoT 기반 모니터링 소프트웨어를 구현하여 가동 시간을 개선했습니다.

보고서 적용 범위

반도체 저감 시스템 시장 보고서에는 글로벌 트렌드, 지역 세분화, 유형 기반 성능 및 응용 프로그램 별 수요에 대한 포괄적 인 적용 범위가 포함됩니다. 팹 확장, 녹색 규정 및 배출 한도와 같은 동인을 포함한 시장 역학에 대해 자세히 설명합니다. 이 보고서는 북미, 유럽, 아시아 태평양 및 중동 및 아프리카 전역의 주요 업체를 프로파일 링하여 제품 포트폴리오 및 시장 점유율에 대한 통찰력을 제공합니다.

커버리지에는 연소-세척, 건조, 촉매, 습식, 플라즈마 웨트 및 하이브리드 저감 시스템에 의한 세분화가 포함됩니다. 응용 프로그램은 도구 별 배포에 중점을 둔 IDM과 파운드리로 나뉩니다. 이 보고서에는 투자 동향, 혁신 전략, 제품 개발 및 최근 업데이트가 있습니다. 또한 제거 효율, 에너지 사용 및 운영 발자국을위한 성능 벤치 마크를 간략하게 설명합니다. 이 연구는 개조를받는 레거시 팹과 대량 칩 생산 센터의 새로운 설치를 평가합니다. 이 문서는 시장의 성장 경로를 탐색하고 투자 준비 기회를 식별하려는 산업 이해 관계자에게 귀중한 자원으로 사용됩니다.