Fuerra térmica húmeda para el tamaño del mercado de semiconductores
El depurador térmico hábil para el tamaño del mercado de semiconductores se valoró en USD 0.715 mil millones en 2024 y se proyecta que alcanzará USD 0.8336 mil millones en 2025, creciendo aún más a USD 2.914 mil millones para 2033, exhibiendo una tasa de crecimiento anual compuesta (CAGR) de 16.9% durante el período de anticipación desde 2025 hasta 2033. Este crecimiento es recolectado por la demanda de Air de la Air de la Air de la Air por el período de Air de la Air de la Air de 2033. Fabricación de semiconductores, avances en tecnología de depuración y la creciente necesidad de cumplimiento ambiental en la industria de semiconductores.
El depurador térmico de EE. UU. Para el mercado de semiconductores está experimentando un fuerte crecimiento, impulsado por la creciente necesidad de sistemas efectivos de control de contaminación del aire en la fabricación de semiconductores. El mercado se beneficia de los avances en tecnología de depuración que mejoran la eficiencia y cumplen con los crecientes requisitos de cumplimiento ambiental en la industria. Además, el creciente enfoque en la sostenibilidad y la necesidad de gestionar las emisiones de los procesos de producción de semiconductores están contribuyendo a la expansión de los depuradores térmicos en los Estados Unidos.
Hallazgos clave
- Tamaño del mercado:Valorado a 0.836b en 2025, se espera que alcance 2.914b para 2033, impulsado por la expansión en la fabricación de semiconductores y el control de emisiones.
- Conductores de crecimiento:Las instalaciones FAB que utilizan depuradores híbridos aumentaron en un 54%, las actualizaciones impulsadas por la auditoría aumentaron un 39%, los avances de nodos por debajo de 7 nm aumentaron la demanda en un 43%.
- Tendencias:La adopción del depurador habilitado en IoT aumentó un 34%, la demanda del sistema modular creció un 29%, los sistemas híbridos de plasma húmedo vieron un 38%de absorción y las unidades de doble etapa aumentaron en un 33%.
- Jugadores clave:UNISEM, Tecnología de los núcleos triples, maquinaria de precisión de eBara, tecnología global estándar, aspiradora Busch
- Ideas regionales:Asia-Pacific lidera con el 42%, América del Norte sigue al 26%, Europa posee el 22%, la demanda de Medio Oriente y África aumentó en un 19%.
- Desafíos:Las dificultades de modernización afectaron el 28%, las restricciones espaciales alcanzaron el 34%de los FAB, los problemas de gestión de residuos químicos afectaron el 32%, las preocupaciones de consumo de energía aumentaron en un 27%.
- Impacto de la industria:La neutralización del gas peligroso mejoró el 96%, la adopción de cumplimiento de las emisiones hasta el 41%, el uso de diagnósticos inteligentes aumentó un 34%, la estabilidad del proceso FAB aumentó un 31%.
- Desarrollos recientes:La eficiencia energética mejoró el 33%, la captura de fluoruro aumentó un 39%, la capacidad de salida del depurador se expandió 41%, la demanda del modelo compacto en un 31%, la reducción de residuos en un 42%.
El depurador térmico húmedo para el mercado de semiconductores está presenciando un fuerte crecimiento de la demanda, principalmente impulsado por el aumento de las regulaciones en torno a las emisiones de gases industriales y la escala de expansión de las plantas de fabricación de semiconductores a nivel mundial. Estos depuradores juegan un papel crucial en la reducción de subproductos peligrosos, ácidos y compuestos orgánicos volátiles generados durante los procesos de fabricación de obleas, grabado y deposición. Más del 63% de las instalaciones avanzadas de fabricación de semiconductores ahora implementan depuradores térmicos húmedos como parte de sus sistemas de control de emisiones. La integración de depuradores con etapas térmicas de alta temperatura y oxidación térmica y neutralización de líquidos se está convirtiendo en una práctica estándar en Fabs, especialmente en Asia-Pacífico y América del Norte.
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Scrubber térmico para las tendencias del mercado de semiconductores
El depurador térmico húmedo para el mercado de semiconductores está siendo formado por la rápida escala de los fabricantes de obleas y el endurecimiento de las regulaciones ambientales relacionadas con las emisiones de gases tóxicos. Más del 58% de los fabricantes de semiconductores informan una mayor inversión en sistemas de reducción, y los depuradores de energía térmica se convirtieron en la opción preferida debido a su eficiencia en la gestión de múltiples contaminantes. La demanda de depuradores diseñados para la eliminación de compuestos fluorados ha aumentado en un 42%, especialmente en instalaciones dedicadas a procesos de litografía avanzados. La integración del monitoreo del sistema basado en IA en el control de emisiones ha aumentado en un 36%, optimizando el rendimiento del depurador y los ciclos de mantenimiento. En Asia-Pacífico, particularmente Taiwán y Corea del Sur, más del 61% de las nuevas construcciones FAB incluyen unidades de depurador térmicas avanzadas, impulsadas tanto por las leyes locales de calidad del aire como por el cumplimiento internacional de la exportación. Además, los sistemas de depuración compactos son tendencia, con el 29% de los operadores Fab que buscan modelos de eficiencia de espacio para diseños de sala limpia modular. Los fabricantes informan un aumento del 33% en los pedidos de configuraciones integradas de neutralización térmica y húmeda, particularmente para fabs que producen chips por debajo de 7 nm. Estos sistemas pueden neutralizar más del 96% de los escapes peligrosos, reduciendo el riesgo de cumplimiento ambiental. La transición del sector de semiconductores a operaciones más ecológicas y actualizaciones de sala limpia está impulsando la demanda de depuradores térmicos húmedos en los centros de fabricación globales.
Fuera térmica húmeda para la dinámica del mercado de semiconductores
El depurador térmico húmedo para el mercado de semiconductores está influenciado por la convergencia de la presión regulatoria, el aumento de la complejidad semiconductora y la necesidad de sistemas de tratamiento de escape sostenibles y eficientes. Los procesos de semiconductores emiten una amplia gama de gases tóxicos, incluidos silano, amoníaco y compuestos fluorados. El uso de los depuradores térmicos y húmedos está creciendo a medida que los fabrics se amplían y se mueven hacia nodos avanzados que requieren controles ambientales más estrictos. La demanda se fortalece aún más por las iniciativas de ESG y los estándares climáticos globales que requieren que FABS limite las emisiones utilizando sistemas eficientes de reducción de gas.
Aumento de la demanda de semiconductores en la electrónica automotriz, IA y de consumo
A medida que aumenta la producción de semiconductores para satisfacer la demanda mundial de chips, la necesidad de una reducción de emisiones avanzadas está creciendo. Más del 49% de las nuevas inversiones en CHIP FABS ahora asignan presupuestos para la infraestructura de tratamiento de gas dedicada, con depuradores térmicos húmedos que representan una opción preferida para la eliminación de contaminantes de etapas múltiples. El crecimiento en los chips lógicos 3D NAND y avanzado ha llevado a un aumento del 41% en los escapes de procesos peligrosos, que los sistemas de húmedo térmico pueden neutralizar efectivamente. El uso en expansión de químicas altamente reactivas en los procesos EUV y FINFET también presenta un aumento del 37% de oportunidad para instalaciones especializadas de depurador.
Adopción creciente de los sistemas de seguridad ambiental en los fabricantes de semiconductores
Aproximadamente el 67% de las nuevas instalaciones de semiconductores a nivel mundial están instalando depuradores térmicos y húmedos como sistemas de reducción estándar para cumplir con los estándares de emisiones. Más del 54% de los FAB en Asia Oriental han pasado a usar depuradores híbridos debido a la alta producción de gases corrosivos de las herramientas de grabado y deposición de plasma. La adopción también cuenta con el respaldo de un aumento del 39% en las auditorías ambientales realizadas por los reguladores de la industria y los compradores de chips, lo que empuja a Fabs para mejorar la seguridad del manejo de gas y el cumplimiento de las emisiones.
Restricciones
"Altos costos de instalación inicial y limitaciones de espacio en salas limpias existentes"
Los sistemas de depuración térmicos húmedos son intensivos en capital, y el 43% de los FABS informan el costo como un factor limitante para la implementación de la facilidad completa. Las salas limpias existentes en Legacy Fabs enfrentan desafíos de integración debido a una tasa de restricción de espacio del 34% al actualizar los sistemas de reducción. Además, el 28% de los gerentes FAB citan dificultades para mantener la uniformidad de la temperatura y la compatibilidad química al modernizar los sistemas térmicos húmedos en arquitecturas de escape más antiguas, desacelerando el despliegue generalizado.
Desafío
"Complejidad en la gestión de diversas corrientes de gas y desechos químicos"
El desafío de manejar diversos resultados gaseosos en los fabricantes de semiconductores ha aumentado en un 46% a medida que los procesos de fabricación de chips se vuelven más intrincados. Más del 39% de las instalaciones de depurador requieren personalización para abordar los escapes de herramientas específicos que contienen siloxanos, amoníaco y compuestos perfluorados. La compatibilidad con el tratamiento de residuos químicos es otro obstáculo, con el 32% de las instalaciones que enfrentan problemas de eliminación debido a los subproductos de reacción formados en las etapas de neutralización húmeda. Esta complejidad en la caracterización y el tratamiento de la corriente de escape limita el despliegue estandarizado del depurador y aumenta los riesgos de tiempo de inactividad del sistema.
Análisis de segmentación
El depurador térmico húmedo para el mercado de semiconductores está segmentado por tipo y aplicación, lo que refleja las necesidades de reducción específicas de varias operaciones FAB. Por tipo, los sistemas de depuración se clasifican en función de la capacidad de flujo, medidas típicamente en litros estándar por minuto (SLM), para acomodar diferentes volúmenes de emisiones de gas peligrosas generadas durante la fabricación. Los sistemas más pequeños (? 300 SLM) son ideales para la reducción dirigida, mientras que los sistemas más grandes (> 500 SLM) son esenciales para las instalaciones de alta salida. En términos de aplicación, los depuradores se usan ampliamente en procesos críticos como la deposición de vapor químico (CVD), hornos de difusión y otros como Ashing y grabado. Cada proceso emite diferentes composiciones químicas, que influyen en la estrategia de diseño y tratamiento del depurador. Más del 47% de los depuradores utilizados en los procesos de CVD requieren configuraciones de múltiples etapas, mientras que el 38% de las de los entornos de difusión enfatizan la estabilidad de alta temperatura. Esta segmentación destaca el enfoque personalizado requerido en el tratamiento de escape semiconductores y la creciente necesidad de personalización de depurador a medida que crecen los tamaños de obleas y las complejidades de procesos.
Por tipo
- ≤300 SLM: Estos depuradores son compactos y comúnmente se usan en líneas de semiconductores de bajo volumen o piloto. Representan casi el 28% del mercado debido a la facilidad de integración en entornos de limitación espacial. La adopción aumentó en un 22% en FABS de I + D y plantas de envasado de chips a pequeña escala. Estas unidades son ideales para operaciones que involucran emisiones intermitentes o aplicaciones de una sola herramienta.
- 300–500 SLM: Los depuradores de capacidad de flujo de rango medio representan aproximadamente el 41% de las instalaciones, principalmente en fabs de mediana salida con deposición múltiple y herramientas de grabado. La demanda de esta categoría creció en un 34%, especialmente en la transición Fabs de nodos heredados a 14 nm y menos. Estos sistemas ofrecen un equilibrio entre la eficiencia térmica y la neutralización química, lo que los hace adecuados para el manejo de escapes múltiples.
- ≥500 SLM: Los depuradores de alta capacidad se despliegan en fabricantes de semiconductores a gran escala con fabricación de alto volumen. Mantienen alrededor del 31% del mercado, con un aumento del uso en un 39% en mega fabs que producen fichas de lógica y memoria avanzadas. Estos sistemas respaldan la reducción continua de gases fluorados, amoníaco y productos químicos corrosivos a escala, lo que los hace vitales para las operaciones de alto rendimiento.
Por aplicación
- CVD: Los depuradores térmicos húmedos utilizados en los procesos de deposición de vapor químico representan el 46% del mercado total. Estos procesos emiten silano, TEO y otros gases volátiles, que requieren una reducción de doble etapa y una reducción húmeda. La adopción aumentó en un 37% con la creciente producción de chips 3D NAND y FINFET, que implican pasos de CVD de alta frecuencia en la fabricación.
- Difusión: Los depuradores utilizados en hornos de difusión contribuyen alrededor del 34% de las instalaciones totales. Estos procesos emiten grandes volúmenes de gases reactivos como la fosfina y el trifluoruro de boro. La adopción en esta categoría aumentó en un 29%, particularmente en los fabricantes de memoria donde el dopaje uniforme es crítico. La reducción de la alta temperatura y la compatibilidad química son requisitos clave en este segmento.
- Otros: Esta categoría incluye depuradores para aplicaciones de grabado, ashing y limpieza. Estas unidades tienen el 20% del mercado y se usan ampliamente en varios nodos FAB. El segmento creció un 25%, con una mayor demanda de las fundiciones que producen RF y chips analógicos. La flexibilidad y el diseño modular son características críticas en este grupo para acomodar los flujos de gas mixtos.
Perspectiva regional
El depurador térmico húmedo para el mercado de semiconductores muestra tendencias regionales distintas formadas por expansiones fabulosas, regulaciones de emisiones e inversiones en tecnologías de sala limpia. Asia-Pacific domina el mercado debido a su densa concentración de fundiciones de semiconductores y fabricantes de dispositivos integrados, lo que representa más del 42% de las instalaciones globales. Corea del Sur, Taiwán y China lideran el despliegue, especialmente en FAB de alta capacidad que producen nodos avanzados por debajo de las 10 nm. América del Norte está escalando rápidamente con la construcción de nuevas instalaciones de fabricación bajo programas nacionales de incentivos de semiconductores. Europa está avanzando en la adopción de reducción, particularmente en Alemania, Irlanda y Francia, impulsadas por estrictos estándares de emisiones industriales. El mercado de Medio Oriente y África todavía está surgiendo, pero mostrando signos de inversión en plantas de chips Greenfield y centros de investigación. Más del 61% de los fabricantes globales de depuradores ahora están localizando la producción para satisfacer las demandas de personalización regional, y el 48% de las nuevas construcciones FAB incluyen sistemas térmicos húmedos en su planificación inicial de equipos. Este impulso regional refleja el creciente enfoque en la fabricación sostenible de semiconductores.
América del norte
América del Norte posee aproximadamente el 26% del mercado global de depurador térmico, con una fuerte actividad en los EE. UU. Y Canadá. Expansiones FAB en Arizona, Texas y Nueva York han impulsado un aumento del 33% en las instalaciones de depuración desde 2022. Los subsidios gubernamentales para la fabricación de chips han provocado un aumento del 28% en la inversión para los sistemas de control ambiental. Los depuradores térmicos húmedos se utilizan en más del 61% de los nuevos fabricantes en desarrollo en América del Norte. El alto énfasis en el cumplimiento de los estándares de EPA y OSHA ha llevado a la adopción generalizada de unidades de reducción de doble etapa con diagnósticos automatizados.
Europa
Europa contribuye alrededor del 22% al mercado global, impulsado por una fuerte regulación ambiental y el aumento de los envases avanzados y los fabricantes de chips automotrices. Alemania y Francia lideran el despliegue, lo que representa el 57% de todos los depuradores térmicos húmedos en la región. Las expansiones FAB respaldadas por incentivos nacionales de tecnología limpia dieron como resultado un crecimiento del 31% en pedidos de depuración solo en 2024. Los estándares de emisión bajo las regulaciones de alcance han desencadenado un cambio de 29% hacia los sistemas integrados de reducción de alta eficiencia. La demanda también está aumentando en las naciones más pequeñas de la UE que invierte en fotónica de silicio y fabricación de MEMS.
Asia-Pacífico
Asia-Pacific lidera el mercado global con una participación del 42%, impulsada por la producción de chips principales en Taiwán, China, Corea del Sur y Japón. Más del 68% de los fabricantes de alta capacidad en esta región utilizan depuradores térmicos y húmedos para manejar salidas de gas complejas. China vio un aumento del 37% en las instalaciones debido a su agresiva estrategia de independencia de semiconductores. En Corea del Sur, FABS que producen memoria y chips lógicos por debajo de 5 nm informaron un aumento del 43% en la demanda de sistemas de reducción de alto flujo. Los mandatos ambientales locales han llevado a una transición del 41% de sistemas solo en seco a soluciones híbridas térmicas húmedas.
Medio Oriente y África
La región de Medio Oriente y África representan un 10% modesto pero creciente del mercado. Los EAU e Israel están liderando en centros de innovación de semiconductores y laboratorios de I + D de sala limpia. Las instalaciones de depuración en esta región crecieron en un 19% en 2025, principalmente impulsadas por desarrollos de la zona tecnológica y colaboraciones internacionales. La estrategia de diversificación industrial de Arabia Saudita incluye envases de chips y fabricantes de sensores, lo que contribuyó a un aumento del 23% en la demanda de depuradores compactos y eficientes en energía. Con el aumento de la participación en las exportaciones de alta tecnología, los fabricantes locales se están alineando con los estándares internacionales de cumplimiento de emisiones.
Lista de depurador térmico clave para las empresas de mercado de semiconductores perfilados
- Unisem
- Tecnología de los núcleos triples
- Orient Service Co., Ltd.
- Innovación de KC
- Youngjin ind
- Tecnología semi
- Aspiradora
- Pionics de Japón
- Grupo QES Berhad
- Tecnología estándar global
- Plasma integrado integrado
- Maquinaria de precisión de eBara
Las principales empresas que tienen la mayor participación
- Tecnología estándar global:posee el 19% de participación de mercado
- Maquinaria de precisión de eBara:posee una participación de mercado del 16%
Análisis de inversiones y oportunidades
El depurador térmico húmedo para el mercado de semiconductores está ganando una fuerte tracción de inversión debido al aumento de la capacidad de fabricación de semiconductores y los mandatos de cumplimiento ambiental. En 2025, más del 47% de los nuevos proyectos de construcción FAB asignaron presupuestos dedicados para sistemas avanzados de reducción de gas, siendo la solución preferida. Los subsidios gubernamentales en Asia-Pacífico y América del Norte han contribuido a un aumento del 39% en el gasto de CAPEX para la infraestructura de control de emisiones. Los fondos de equipos de capital privado y de semiconductores han aumentado su participación en las empresas de tecnología de reducción en un 33%, dirigida a los desarrolladores de depuradores con innovaciones patentadas de tratamiento químico húmedo. Más del 41% de los FAB están integrando unidades térmicas de doble etapa en planos de sala limpia, lo que refleja su importancia creciente en la preparación del proceso de nodos completos. El crecimiento de los subproductos peligrosos de las líneas de producción de FINFET, EUV y NAND 3D está creando un aumento del 37% en el 37% para los proveedores de depuradores de alta capacidad. Además, las asociaciones entre los constructores Fab y los OEM de depuración han aumentado en un 28% para admitir soluciones co-desarrolladas y específicas de Fab. A medida que las regulaciones ambientales se vuelven más estrictas, especialmente en China, Corea del Sur y los EE. UU., Las inversiones fluyen hacia los depuradores modulares de la próxima generación, con baja huella de los pies capaces de> 96% de neutralización contaminante. Estos factores apuntan colectivamente hacia una perspectiva de demanda sostenida y la expansión de oportunidades comerciales para los fabricantes de depuradores.
Desarrollo de nuevos productos
El desarrollo de nuevos productos en el mercado de depurador térmico, con innovaciones centradas en la eficiencia energética, el diseño modular y el diagnóstico inteligente. En 2025, más del 34% de los nuevos sistemas liberados estaban equipados con monitoreo habilitado para IoT para proporcionar análisis de flujo de escape en tiempo real y mantenimiento predictivo. Los diseños compactos optimizados para las operaciones SLM Sub-300 vieron un aumento del 27% en el volumen de lanzamiento, dirigidos a Fabs y laboratorios de I + D más pequeños con limitaciones de espacio. Empresas como Semian Technology y Youngjin IND introdujeron unidades integradas de intercambio de calor que redujeron el consumo de agua en un 31% mientras mantienen el rendimiento de reducción superior al 95%. La oxidación asistida por plasma a alta temperatura también se introdujo en nuevos modelos selectos, lo que aumenta la eficiencia de descomposición de gases tóxicos en un 38%. En Japón y Corea del Sur, los proveedores informaron un aumento del 42% en la demanda de depuradores compatibles con silicio con recubrimientos internos de baja residuos para minimizar la contaminación del proceso. Además, las unidades de manejo de gases múltiples capaces de tratar el silano, los compuestos perfluorados y los vapores ácidos en una sola cámara crecieron en un 36% en la tasa de despliegue. Ebara Precision Machinery lanzó un módulo escalable que permite la expansión de la capacidad de 300 a 500 SLM sin modernización, con la adopción inicial que muestra el 29% de ahorro de costos por FAB. Estas mejoras de productos respaldan el cambio hacia sistemas de control de escape inteligentes y adaptables alineados con las demandas de producción de semiconductores en evolución.
Desarrollos recientes
- Maquinaria de precisión de eBara: En marzo de 2025, la maquinaria de precisión de eBara dio a conocer un nuevo depurador térmico modular de alto flujo, capaz de 500+ SLM con una reducción del 33% en el consumo de energía. Este sistema fue adoptado por dos fabricantes de fabricación de Corea del Sur para abordar los escapes de litografía EUV de alto volumen.
- Tecnología estándar global: En enero de 2025, Global Standard Technology comenzó las instalaciones piloto de un sistema de fregado húmedo de próxima generación con neutralización química de triple etapa. Los resultados tempranos mostraron un aumento del 39% en la eficiencia de captura de fluoruro en los procesos de grabado en plasma.
- Busch Vacuum: En febrero de 2025, Busch Vacuum se asoció con Chip Tool OEMS para integrar sus depuradores compatibles con la bomba de vacío. Estos sistemas registraron una reducción del 28% en la degradación de la bomba debido a una mejor filtración de gas corrosivo.
- Innovación de KC: En abril de 2025, KC Innovation anunció el desarrollo de un depurador húmedo compacto específicamente para Fabs heredados de 200 mm. Su pequeño diseño de huella condujo a un aumento de adopción del 31% entre los envases medianos y las fundiciones analógicas.
- Grupo QES Berhad: En mayo de 2025, el grupo QES Berhad amplió su planta de fabricación con sede en Malasia para aumentar la producción de depurador en un 41%. Esta expansión tiene como objetivo satisfacer la creciente demanda de las instalaciones de ensamblaje y pruebas del sudeste asiático.
Cobertura de informes
El depurador térmico húmedo para el informe del mercado de semiconductores proporciona información integral sobre la segmentación, tendencias, dinámicas, jugadores clave, desarrollo de productos y rendimiento regional de la industria. El mercado está segmentado por la capacidad de flujo en ≤300 SLM, 300–500 SLM y ≥500 SLM, con unidades de rango medio que representan el 41% de la demanda. Las aplicaciones incluyen ECV (46%de participación), difusión (34%) y otras como grabado y limpieza (20%). Asia-Pacific domina con una participación de mercado del 42%, seguido de América del Norte (26%) y Europa (22%). Medio Oriente y África están ganando tracción con Fabs y laboratorios de investigación emergentes. El informe perfila doce actores principales, con tecnología estándar global y maquinaria de precisión de eBara colectivamente que posee el 35% del mercado. Incluye información de inversión que destaca una asignación de presupuesto del 47% hacia los depuradores en los nuevos FAB y un aumento del 33% en la actividad de capital privado. Las tendencias de innovación de productos reflejan un aumento del 34% en los modelos habilitados para IoT y un aumento del 38% en los sistemas de oxidación asistidos por plasma. Cinco desarrollos recientes de mejoras de eficiencia de atención de 2025, modularidad e nuevas iniciativas de fabricación regional. Este informe ofrece una guía estratégica de las partes interesadas para navegar por el cumplimiento de las emisiones, la integración de equipos y las asociaciones de proveedores en el panorama de semiconductores en evolución.
| Cobertura del Informe | Detalles del Informe |
|---|---|
|
Por Aplicaciones Cubiertas |
CVD, Diffusion, Others |
|
Por Tipo Cubierto |
?300 SLM, 300-500 SLM, ?500 SLM |
|
Número de Páginas Cubiertas |
95 |
|
Período de Pronóstico Cubierto |
2025 to 2033 |
|
Tasa de Crecimiento Cubierta |
CAGR de 16.9% durante el período de pronóstico |
|
Proyección de Valor Cubierta |
USD 2.914 Billion por 2033 |
|
Datos Históricos Disponibles para |
2020 a 2023 |
|
Región Cubierta |
América del Norte, Europa, Asia-Pacífico, América del Sur, Oriente Medio, África |
|
Países Cubiertos |
EE. UU., Canadá, Alemania, Reino Unido, Francia, Japón, China, India, Sudáfrica, Brasil |
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