Taille, part, croissance et analyse de l’industrie du marché des épurateurs pour gaz résiduaires de semi-conducteurs, par types (épurateur de brûlure, épurateur à plasma, épurateur humide et thermique, épurateur sec), par applications couvertes (CVD, diffusion, gravure, autres), perspectives régionales et prévisions jusqu’en 2035

Épurateur pour la taille du marché des gaz résiduaires de semi-conducteurs

La taille du marché mondial des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs s’élevait à 1,50 milliard de dollars en 2025 et devrait atteindre 1,73 milliard de dollars en 2026 et 1,99 milliard de dollars en 2027, avant de croître fortement pour atteindre 6,15 milliards de dollars d’ici 2035. Cette trajectoire notable représente un TCAC de 15,15 % au cours de la période de prévision de 2026 à 2035, porté par l’expansion de la fabrication de semi-conducteurs, les réglementations en matière de contrôle des émissions et les normes de conformité environnementale. De plus, l’efficacité et l’automatisation avancées de la filtration stimulent le marché mondial des épurateurs pour les gaz résiduaires de semi-conducteurs.

Le marché américain des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs connaît une croissance significative, tirée par la demande croissante de fabrication de semi-conducteurs et la nécessité de solutions efficaces de traitement des gaz résiduaires. Le marché bénéficie de réglementations environnementales plus strictes qui obligent les fabricants de semi-conducteurs à minimiser les émissions nocives. De plus, l’attention croissante portée aux processus de fabrication durables et aux progrès des technologies d’épuration contribuent à l’expansion du marché aux États-Unis.

Principales conclusions

• Taille du marché : Évalué à 1,453 milliard en 2025, il devrait atteindre 4,73 milliards d'ici 2033, ce qui indique l'adoption rapide de systèmes de réduction avancés dans le monde entier.
• Moteurs de croissance : Augmentation de plus de 61 % des améliorations environnementales au niveau de la fabrication, croissance de la demande de 57 % dans les installations inférieures à 5 nm et expansion de 48 % de la capacité de fabrication en Asie-Pacifique.
• Tendances : 52 % des nouvelles usines ont adopté des épurateurs intelligents, 44 % préfèrent les unités modulaires et 39 % ont intégré des systèmes de surveillance des émissions basés sur l'IoT.
• Acteurs clés : Ebara, Edwards Vacuum, Global Standard Technology, DAS Environmental Expert GmbH, CS Clean Solution
• Aperçus régionaux : L'Asie-Pacifique est en tête avec une part de 42 %, l'Amérique du Nord suit avec 28 %, l'Europe avec 21 % et le Moyen-Orient et l'Afrique avec une croissance de 9 %.
• Défis : 49 % des usines sont confrontées à des coûts d'installation élevés, 42 % signalent des complexités de maintenance et 33 % ont des difficultés à s'intégrer dans les infrastructures existantes.
• Impact sur l'industrie : 37 % des usines de fabrication ont constaté des niveaux d'émissions inférieurs, 41 % ont amélioré la conformité des processus et 29 % ont signalé une efficacité énergétique plus élevée après le déploiement de l'épurateur.
• Développements récents : Augmentation de 45 % des lancements d'épurateurs intelligents, 38 % proposent des diagnostics basés sur l'IA et 31 % proposent des technologies d'optimisation de l'utilisation des produits chimiques.

L’épurateur pour le marché des gaz résiduaires des semi-conducteurs joue un rôle central pour garantir des environnements de fabrication propres au sein de l’industrie des semi-conducteurs. Ces systèmes sont spécifiquement conçus pour neutraliser, absorber ou brûler les gaz toxiques et corrosifs émis lors des processus de gravure, de dépôt et de nettoyage. Alors que plus de 78 % des usines de fabrication de semi-conducteurs renforcent leurs mesures de conformité environnementale, la demande d'épurateurs hautes performances a augmenté. Le passage à la production avancée de nœuds de semi-conducteurs a également entraîné une augmentation de 52 % de la production de gaz dangereux, alimentant ainsi le besoin de technologies de réduction robustes. Les épurateurs secs et humides sont largement déployés pour répondre aux exigences réglementaires et opérationnelles croissantes.

Tendances du marché des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs

Le marché des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs évolue rapidement à mesure que les réglementations environnementales se resserrent et que la fabrication de semi-conducteurs devient de plus en plus complexe. Plus de 61 % des usines de semi-conducteurs dans le monde utilisent désormais des systèmes de réduction des gaz à plusieurs étages. La transition vers des nœuds de processus plus petits tels que 5 nm et 3 nm a augmenté l'utilisation de gaz spéciaux de 48 %, stimulant directement la demande d'épurateurs efficaces. Les épurateurs secs dominent dans 56 % des installations en raison de leur conception compacte et de leur faible consommation d'eau, tandis que les épurateurs humides détiennent environ 32 % du marché en raison de leur rentabilité dans le traitement des gaz acides. Il y a aussi une adoption croissante de l’hybridesystèmes d'épuration, qui représentent désormais 12 % des installations des usines à profils de déchets mixtes gazeux. L'Asie-Pacifique est en tête de la demande avec plus de 42 % des installations mondiales, suivie par l'Amérique du Nord avec 28 %. De plus, 37 % des nouvelles usines construites en 2025 intègrent des systèmes d’épuration intelligents équipés de capteurs IoT pour le suivi des émissions en temps réel. La promotion d’une fabrication verte a conduit à une augmentation de 31 % des investissements dans des solutions de réduction des émissions à faibles émissions. De plus, plus de 44 % des fournisseurs d'épurateurs proposent désormais des solutions modulaires et évolutives pour répondre à l'expansion rapide des installations de salles blanches dans les centres mondiaux de semi-conducteurs.

Épurateur pour la dynamique du marché des gaz résiduaires de semi-conducteurs

Le marché des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs est façonné par la pression croissante exercée sur les fabricants de semi-conducteurs pour qu’ils réduisent leur impact environnemental et se conforment à des normes d’émission strictes. Alors que les usines augmentent leur production pour répondre à la demande mondiale de puces, le contrôle des émissions devient une priorité essentielle. La dynamique du marché est influencée par les progrès technologiques dans les systèmes de réduction, les réglementations gouvernementales sur la pollution atmosphérique et la complexité croissante des processus de semi-conducteurs. Les fournisseurs se concentrent sur des épurateurs évolutifs, économes en énergie et compatibles avec l’IA pour atteindre leurs objectifs opérationnels et de durabilité. La demande augmente à la fois dans la construction de nouvelles usines et dans la modernisation des installations existantes.

OPPORTUNITÉ

Croissance des initiatives en matière de semi-conducteurs verts et des technologies de réduction intelligente

Alors que l’industrie vise zéro émission nette, 44 % des entreprises de semi-conducteurs se sont engagées à mettre en œuvre des systèmes de gestion durable des déchets d’ici 2030. Les investissements dans les technologies d’épuration intelligentes ont augmenté de 36 % en 2025, stimulés par la demande de surveillance en temps réel et de maintenance prédictive. Les systèmes d'épuration modulaires, qui permettent un déploiement évolutif, ont été adoptés par 28 % des nouvelles usines dans le monde. En Europe, 41 % des projets de semi-conducteurs soutenus par le gouvernement exigent l'utilisation d'outils de réduction à haut rendement. De plus, 47 % des usines qui modernisent leurs lignes pour gérer des processus de gaz à mélange élevé choisissent des épurateurs intelligents avancés pour garantir la conformité et la fiabilité opérationnelle.

CHAUFFEURS

Des réglementations environnementales strictes dans la fabrication de semi-conducteurs

Plus de 74 % des fabricants de semi-conducteurs ont déclaré avoir renforcé les normes environnementales dans leurs régions d'exploitation. Plus de 63 % des usines de fabrication ont amélioré leurs systèmes de réduction au cours des trois dernières années. Les réglementations sur les émissions de composés perfluorés (PFC) ont entraîné une augmentation de 46 % de l'adoption des épurateurs avancés. En Asie-Pacifique, 57 % des nouvelles usines sont conçues avec des épurateurs de gaz résiduaires intégrés pour respecter les permis environnementaux préalables à la construction. De plus, 38 % des fabricants de puces basés aux États-Unis fonctionnent désormais avec des systèmes de traitement des gaz améliorés en réponse aux directives de l'EPA et locales sur la qualité de l'air.

Contraintes

"Coûts d’investissement et de maintenance élevés des systèmes d’épuration avancés"

Environ 49 % des usines de fabrication de semi-conducteurs de petite et moyenne taille citent le coût comme principal obstacle à l'installation de systèmes d'épuration avancés. Les dépenses d'installation initiales pour une réduction en plusieurs étapes peuvent dépasser les allocations budgétaires jusqu'à 34 %. De plus, 42 % des installations signalent une augmentation des coûts opérationnels en raison de l'entretien régulier, du remplacement des filtres et de la consommation des services publics. Sur les marchés émergents, 31 % des fabricants de puces optent pour des systèmes de réduction de base plutôt que pour des systèmes avancés en raison de leur prix abordable, ce qui a un impact sur les performances globales en matière d'émissions. Ces contraintes financières limitent la pénétration du marché dans les régions sensibles aux prix.

Défi

"Mélanges de gaz complexes et exigences de processus évolutives dans la production de nœuds avancés"

Les procédés avancés de fabrication de puces, tels que la lithographie EUV, ont introduit des combinaisons de gaz que 39 % des épurateurs traditionnels ne peuvent pas complètement neutraliser. Environ 33 % des usines ont signalé des difficultés à traiter efficacement les gaz d'échappement mixtes à base de fluor, de chlore et de silicium. La personnalisation des épurateurs pour chaque processus d'outil unique a augmenté le temps d'ingénierie de 27 %, retardant ainsi les délais de mise en œuvre. De plus, 26 % des usines sont confrontées à des défis d’intégration lors de l’installation de systèmes de réduction de grande capacité dans des infrastructures de salles blanches plus anciennes. Ces complexités techniques augmentent les risques opérationnels et exigent des solutions de réduction adaptables de nouvelle génération.

Analyse de segmentation

Le marché des épurateurs pour les gaz résiduaires de semi-conducteurs est segmenté par type et par application, chaque segment répondant à des processus de fabrication et à des exigences spécifiques en matière de traitement des gaz. Différents types d'épurateurs (épurateurs à combustion, épurateurs à plasma, épurateurs à chaleur humide et épurateurs à sec) sont adaptés aux diverses compositions de gaz dangereux générées lors de la fabrication des semi-conducteurs. Les épurateurs à combustion et au plasma sont très efficaces pour traiter les gaz inflammables et réactifs, tandis que les épurateurs à sec sont préférés en raison de leur compacité et de leur utilisation minimale. Les épurateurs thermiques et humides sont efficaces pour la neutralisation des gaz acides. Le choix de l'épurateur dépend en grande partie du type de processus impliqué : CVD, diffusion, gravure ou autres. Dans les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de diffusion, des gaz hautement toxiques sont libérés, nécessitant des épurateurs avancés à plusieurs étages. Les applications de gravure représentent une part importante en raison de leurs modèles d'émission continus et variés, nécessitant une réduction précise. À mesure que les nœuds semi-conducteurs diminuent et que la complexité des processus augmente, la sélection des épurateurs devient de plus en plus spécifique à l'application. Environ 64 % des usines de fabrication déploient désormais une combinaison de types d'épurateurs pour répondre aux divers besoins de traitement des gaz sur différents outils de production.

Par type

• Épurateur de brûlures: Les épurateurs de brûlures sont largement utilisés pour les gaz très toxiques tels que le silane et le chlorure d'hydrogène. Ils détiennent près de 29 % du marché. Plus de 58 % des usines traitant des gaz inflammables utilisent des épurateurs de brûlure en raison de leur capacité d'oxydation thermique, garantissant une efficacité de destruction supérieure à 95 %. Ils sont particulièrement importants dans les processus de CVD et de diffusion.
• Épurateur de plasma: Les épurateurs plasma représentent environ 22 % des installations, appréciés pour leur capacité à dissocier des gaz complexes à basse température. Environ 46 % des usines utilisant des nœuds avancés préfèrent les épurateurs à plasma pour gérer les gaz d'échappement des composés fluorés. Leur nature modulaire permet une intégration transparente avec les outils de processus nécessitant une réduction flexible et localisée.
• Épurateur humide à chaleur: Les épurateurs thermiques humides sont utilisés dans 26 % des installations et sont particulièrement efficaces pour traiter les flux de gaz acides. Près de 51 % des usines manipulant des gaz à base de chlore emploient ce type en raison de sa capacité à neutraliser les substances corrosives. La combinaison du chauffage et du lavage humide offre une efficacité d’absorption chimique améliorée.
• Épurateur à sec: Les épurateurs à sec sont des systèmes compacts nécessitant peu d'entretien et représentant 23 % du marché. Favorisés par 49 % des usines ayant des contraintes d'espace, ils offrent une facilité d'installation et une maîtrise des coûts. Ces épurateurs sont couramment utilisés pour la gravure et comme unités de réduction de secours, en particulier dans les anciennes infrastructures de salles blanches.

Par candidature

• CVD (dépôt chimique en phase vapeur): Les processus CVD génèrent des gaz d'échappement dangereux à partir de précurseurs de silicium, de tungstène et de métaux organiques. Environ 34 % des épurateurs sont utilisés dans les outils CVD. Plus de 57 % des usines produisant des volumes élevés de CVD ont installé des épurateurs à plusieurs étages pour gérer efficacement les gaz contenant du silane, de l'ammoniac et de l'hydrogène.
• Diffusion: Les outils de diffusion produisent des émissions constantes à haute température nécessitant un traitement de gaz robuste. Environ 23 % du total des installations d’épuration sont dédiées aux applications de diffusion. Plus de 42 % des usines de fabrication utilisant des gaz dopants comme la phosphine et le diborane appliquent des épurateurs par combustion ou par voie humide pour garantir la sécurité et la conformité.
• Graver: Les processus Etch contribuent à la plus grande part, avec 31 % des déploiements de laveurs. Environ 64 % des outils de gravure au plasma émettent des gaz fluorés réactifs, nécessitant des épurateurs spécialisés à sec ou au plasma. La grande variabilité des émissions lors de la gravure rend essentielles les configurations avancées et adaptatives des épurateurs.
• Autres: D'autres applications, notamment le nettoyage par lithographie, la récupération de plaquettes et le packaging back-end, représentent 12 % des installations. Ces procédés nécessitent souvent des épurateurs compacts ou hybrides. Environ 19 % des petites usines utilisent ces systèmes pour traiter des charges de gaz modérées provenant des opérations de semi-conducteurs non essentielles.

Perspectives régionales

Le marché des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs présente une forte diversité régionale, l’Asie-Pacifique, l’Amérique du Nord et l’Europe générant la majorité de la demande. L'Asie-Pacifique est en tête avec une part de plus de 42 %, soutenue par des expansions agressives d'usines de semi-conducteurs à Taiwan, en Corée du Sud, en Chine et au Japon. L’infrastructure de fabrication dense de la région et l’accent croissant mis sur la fabrication verte alimentent les investissements dans les systèmes de réduction avancés. L'Amérique du Nord détient 28 % du marché, principalement menée par les États-Unis, où les réglementations environnementales fédérales et étatiques sont strictes. L'Europe suit avec 21 %, tirée par les mandats de développement durable et les investissements dans les semi-conducteurs soutenus par le gouvernement dans des pays comme l'Allemagne et les Pays-Bas. La région Moyen-Orient et Afrique, bien que plus petite, connaît une croissance dans des pays comme Israël et les Émirats arabes unis grâce à des collaborations dans les technologies propres et à de nouvelles entreprises de semi-conducteurs. Dans toutes les régions, l’adoption d’épurateurs intelligents, de conceptions économes en énergie et de systèmes modulaires gagne en importance. La personnalisation régionale, notamment en matière de conformité réglementaire et de seuils d’émission, façonne les stratégies de développement et de déploiement de produits.

Amérique du Nord

L’Amérique du Nord contribue à hauteur d’environ 28 % au marché mondial des épurateurs, les États-Unis représentant la plus grande part. Plus de 61 % des usines de fabrication de la région utilisent des épurateurs secs ou hybrides en raison d'objectifs de conservation de l'eau et d'optimisation de l'espace. Les politiques environnementales au niveau des États de Californie et de New York ont ​​entraîné une augmentation de 39 % de l'adoption de systèmes de réduction à haute efficacité. Plus de 48 % des usines intégrant la lithographie EUV en 2025 ont installé des épurateurs à plusieurs étages pour traiter les gaz à haute réactivité. Avec la loi CHIPS promouvant la fabrication nationale de semi-conducteurs, plus de 36 % des nouveaux projets de fabrication ont alloué des fonds à des épurateurs avancés pendant la phase de conception.

Europe

L'Europe détient environ 21 % du marché mondial, l'Allemagne, la France et les Pays-Bas étant en tête de l'adoption. Environ 54 % des usines de fabrication européennes privilégient les épurateurs humides et hybrides en raison de leur efficacité dans le traitement des émissions de gaz acides. Les réglementations ESG ont incité 42 % des usines de fabrication à moderniser leurs infrastructures de réduction des gaz depuis 2023. Les initiatives de technologies propres de l’UE ont contribué à une augmentation de 31 % des investissements dans des épurateurs économes en énergie et à faibles émissions. Les pôles de recherche sur les semi-conducteurs en Belgique et en France ont indiqué que 26 % des nouveaux projets en 2025 incluaient des systèmes d'épuration intelligents avec diagnostics d'IA et suivi des émissions intégrés.

Asie-Pacifique

L’Asie-Pacifique domine avec plus de 42 % du marché mondial, menée par Taïwan, la Corée du Sud, la Chine et le Japon. Taiwan représente à lui seul 18 % des installations mondiales d’épuration en raison de son écosystème de fabrication dense. Plus de 67 % des nouvelles usines de fabrication en Asie-Pacifique en 2025 étaient équipées d’épurateurs à combustion et à plasma pour répondre aux normes d’émission spécifiques à la région. La Chine a augmenté son financement pour les infrastructures de semi-conducteurs, ce qui a entraîné une augmentation de 43 % de la production locale d'épurateurs. Les principaux fabricants de puces sud-coréens ont mis en œuvre des systèmes de réduction économes en énergie dans 51 % de leurs usines modernisées. Les usines de fabrication avancées utilisant des processus 3 nm et 2 nm ont déployé des systèmes hybrides dans plus de 29 % des nouvelles installations.

Moyen-Orient et Afrique

Le Moyen-Orient et l’Afrique détiennent une part de marché émergente de 9 %, Israël et les Émirats arabes unis étant en tête de l’adoption. En Israël, 34 % des installations de recherche sur les semi-conducteurs ont intégré des épurateurs modulaires pour des lignes de production à l'échelle pilote. La campagne de fabrication propre des Émirats arabes unis a soutenu une augmentation de 27 % des importations d’épurateurs en 2025. L’Afrique du Sud bénéficie d’investissements issus de partenariats technologiques, avec 19 % des nouvelles usines d’électronique installant des unités d’épuration localisées. Dans toute la région, plus de 31 % des installations privilégient les épurateurs à sec en raison de leur moindre dépendance à l’eau. La conformité environnementale des nouvelles zones de semi-conducteurs encourage l’utilisation de systèmes de réduction évolutifs et compacts dans les usines de petite et moyenne taille.

LISTE DES CLÉS Épurateurs pour le marché des gaz résiduaires de semi-conducteurs PROFILÉS

Analyse et opportunités d’investissement

Le marché des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs attire des investissements substantiels en raison de la complexité croissante des processus de semi-conducteurs et de l’intensification des réglementations environnementales. Plus de 61 % des fabricants de puces ont augmenté leur allocation d'investissement pour les systèmes de contrôle des émissions en 2025. Les géants des semi-conducteurs de la région Asie-Pacifique ont signalé une augmentation de 48 % de leurs budgets d'achat d'épurateurs, tandis que les usines nord-américaines ont augmenté leurs investissements dans la modernisation des épurateurs de 39 %. Environ 43 % des nouveaux projets de construction d’usines dans le monde prévoient désormais une infrastructure d’épuration dédiée dès la phase de conception initiale. Les fabricants d’épurateurs à sec et à plasma ont attiré une augmentation de 34 % du financement en capital-risque en 2025, en particulier pour les gammes de produits modulaires et compatibles IoT. Les incitations gouvernementales en faveur de la fabrication de semi-conducteurs propres ont stimulé les investissements en capital de 41 % dans des régions comme l'Europe et la Corée du Sud. En outre, 37 % des usines intelligentes dans le monde évoluent vers des systèmes d'épuration prédictifs alimentés par l'IA afin de réduire les temps d'arrêt pour maintenance et les émissions. Les fabricants proposant des systèmes économes en énergie et à faible empreinte signalent une augmentation de 29 % des demandes de vente provenant des usines de niveau 1 et de niveau 2. Avec une augmentation de 46 % des collaborations transfrontalières dans le domaine des semi-conducteurs, les fournisseurs développent leur fabrication localisée pour répondre aux exigences de conformité régionales. Cette tendance ouvre des opportunités de croissance pour les fournisseurs axés sur l’adaptabilité, la surveillance en temps réel et les solutions durables de réduction des gaz résiduaires.

Développement de NOUVEAUX PRODUITS

Le développement de produits sur le marché des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs est centré sur l’efficacité des performances, l’automatisation et l’intégration intelligente. En 2025, plus de 52 % des épurateurs nouvellement introduits étaient dotés d'une surveillance des émissions en temps réel avec des systèmes de contrôle basés sur l'IA. Ebara a lancé une série d'épurateurs à sec optimisés pour les usines de fabrication inférieures à 5 nm, réduisant la fréquence de maintenance de 31 % tout en améliorant la précision du traitement des gaz de 37 %. Edwards Vacuum a dévoilé un système hybride plasma-humide capable de gérer des gaz d'échappement mixtes, désormais adopté dans 26 % des usines coréennes nouvellement construites. DAS Environmental Expert GmbH a introduit une plate-forme d'épuration modulaire pour les usines de taille moyenne, augmentant l'évolutivité de 44 % et réduisant le temps d'installation de 33 %. Global Standard Technology a élargi sa gamme d'épurateurs humides compatibles IoT, avec 41 % des utilisateurs signalant un suivi opérationnel amélioré et une utilisation réduite de produits chimiques. CS Clean Solution a lancé un système de réduction à base de plasma adapté aux applications de gravure, permettant une amélioration de 29 % de l'efficacité de la destruction des gaz dangereux. Dans l’ensemble du secteur, plus de 38 % des lancements de produits en 2025 étaient axés sur la durabilité, notamment des modules de recyclage de l’eau et l’intégration de la récupération de chaleur. Des épurateurs intelligents dotés de tableaux de bord basés sur le cloud sont testés dans plus de 21 % des usines de semi-conducteurs. Cette vague d’innovation répond à la demande du marché en matière d’automatisation, de fiabilité des performances et de flexibilité de conformité dans les usines modernes.

Développements récents

• Ebara (2025) : Ebara a présenté son épurateur à sec EBS-FX500 en 2025, conçu pour la fabrication de puces de 3 nm. Il présente une empreinte carbone inférieure de 36 % et une efficacité énergétique améliorée de 42 %. L'unité a déjà été déployée dans 33 % des usines nouvellement créées à Taiwan et au Japon.
• Aspirateur Edwards (2025) : Edwards a lancé un épurateur hybride de nouvelle génération combinant les technologies plasma et humide. Il a signalé une augmentation de 28 % de l’efficacité du traitement des gaz acides et basiques mixtes. Ce modèle est utilisé dans 31 % des nouvelles usines EUV de Corée du Sud et a été intégré à l’agrandissement des installations d’Intel en Arizona.
• DAS Environmental Expert GmbH (2025): DAS a dévoilé sa plateforme d'épurateur intelligent « EcoFlow » avec intégration modulaire, permettant une personnalisation spécifique à l'usine. En Allemagne, 38 % des usines intelligentes ont adopté EcoFlow, réduisant ainsi les émissions de 33 % tout en augmentant la disponibilité de 27 %. La solution gagne du terrain dans l’infrastructure européenne des semi-conducteurs axée sur la durabilité.
• Technologie standard mondiale (2025) : GST a lancé un système d'épurateur humide entièrement numérique avec des capteurs intégrés et des modules autonettoyants. En 2025, plus de 41 % des nouvelles salles blanches en Chine utilisaient ce modèle, citant une diminution de 35 % de la consommation de produits chimiques et une détection 31 % plus rapide des émissions anormales.
• Solution propre CS (2025) : CS Clean Solution a déployé un épurateur plasma compact destiné aux usines de fabrication de niveau intermédiaire. Le système a atteint 29 % de pénétration du marché en Asie du Sud-Est et a été adopté dans 24 % des usines pilotes de Singapour. Il réduit les émissions de gaz fluorés de plus de 45 % grâce à des capacités d’intégration simplifiées.

COUVERTURE DU RAPPORT

Le rapport sur le marché des épurateurs de gaz résiduaires de semi-conducteurs fournit un aperçu complet des segments clés, des tendances régionales, de l’innovation technologique et de l’analyse concurrentielle. Couvrant plus de 20 fabricants mondiaux, le rapport représente 90 % de l’activité du marché des technologies d’épuration humide, sèche, plasma et hybride. Il souligne que les épurateurs à sec sont en tête avec 29 % de part de marché, suivis par les épurateurs à chaleur et par voie humide avec 26 %. La segmentation des applications montre que les processus CVD et de gravure contribuent à plus de 65 % de la demande totale d'épurateurs. Le rapport suit les données régionales, montrant que l'Asie-Pacifique détient 42 % de part de marché, l'Amérique du Nord à 28 %, l'Europe à 21 % et le Moyen-Orient et l'Afrique émergents à 9 %. L'adoption des épurateurs intelligents a augmenté de 37 % dans les usines implémentant des nœuds de 3 nm ou moins. En outre, 44 % des usines nouvellement construites en 2025 ont installé des épurateurs multi-étagés ou hybrides. Plus de 52 % des nouveaux produits lancés au cours de l’année écoulée intègrent le suivi des émissions et le diagnostic à distance. Le rapport souligne également une augmentation de 41 % des systèmes économes en énergie, soutenus par des incitations politiques environnementales. Grâce à des informations sur le développement de produits, les changements dans la chaîne d'approvisionnement, la demande des utilisateurs finaux et les objectifs de développement durable, le rapport fournit des informations stratégiques aux parties prenantes visant à optimiser les investissements dans les systèmes de contrôle des émissions de semi-conducteurs.